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我們超精密光學(xué)配件加工技術(shù)進(jìn)入世界領(lǐng)先

時間:2020-07-10瀏覽次數(shù):3686

今天,記者從國防科技大學(xué)了解到,機(jī)電工程及自動化學(xué)院自主研發(fā)的新一代超精密光學(xué)配件加工設(shè)備已通過相關(guān)單位組織的工藝評定。結(jié)果表明,該套設(shè)備的加工精度達(dá)到了亞納米水平的重大突破,典型試件光學(xué)零件的均方根方根值達(dá)到了0.361 nm,表明我國超精密光學(xué)零件加工技術(shù)已進(jìn)入[敏感詞]行列。


超精密加工技術(shù)是先進(jìn)裝備制造的關(guān)鍵瓶頸技術(shù),而納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)的“皇冠上的寶石”。過去,由于我國光學(xué)零件加工技術(shù)落后,無法加工大直徑、高精度、復(fù)雜表面形狀的光學(xué)配件,嚴(yán)重制約了相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。自20世紀(jì)80年代以來,在李圣怡,教授的領(lǐng)導(dǎo)下,經(jīng)過30多年的頑強(qiáng)拼搏和自主創(chuàng)新,大學(xué)精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊突破了高精度機(jī)床精密運動機(jī)構(gòu)設(shè)計、高效磁流變拋光液制備、離子束穩(wěn)定控制、光學(xué)元件亞納米全波段誤差控制等核心關(guān)鍵技術(shù)。開發(fā)了一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變和離子束拋光設(shè)備,打破了發(fā)達(dá)[敏感詞]對超精密加工設(shè)備的技術(shù)封鎖,使中國成為繼美和德之后掌握兩項高精密光學(xué)配件加工技術(shù)的[敏感詞]。


近年來,在[敏感詞]重大科技專項“大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及完整工藝”和[敏感詞]自然科學(xué)基金的支持下,該大學(xué)精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊成功研制出新一代離子束拋光機(jī)床和數(shù)控光順拋光機(jī)床,小可控材料去除量為0.1 nm。相關(guān)專家指出,這一自主創(chuàng)新成果可以為“大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及成套工藝”、“高分辨率地球觀測系統(tǒng)”等[敏感詞]重大科技項目提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持和設(shè)備支持,并將直接推動相關(guān)領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)突破,對提高我國先進(jìn)裝備制造水平具有重要意義。

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